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曲卓入行时,正是步进式投影光刻机发展的顶峰时期。
即便后来浸润式光刻机出来了,国内在很长时间里,依旧以干式机为主。
那段时间里,国内就是个破烂王国,佳能的ex3l和5l、尼康的nsr-1010g,asml的fpa2500,svgl的micrascan
i,甚至gca在78年推出的,当时来说已经老掉牙的第一代stepper都能见到。
接触的多了,曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。
剔除掉其他工艺和流程,只说光刻机本身,作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记,离得稍微有点远。
眼下国内虽然可以自产高压汞灯,但稳定性和寿命远不达标。
450nm以上的稳定光源,曲卓有“收录”。但只能“买”出成品,没有生产工艺和设备,对应的光刻胶也一样。
至于i线和g线,好像是80年后汉斯先搞出来的。
镜头模组……已经收录到了紫外高透玻璃,抛光、镀膜、校准,对于脑子里的“系统”来说完全没有任何难度。
关键还是老问题,拿不出专用的高精度铣床。别说铣床了,小磨头都不知道去哪“收录”。
至于进一步提升精度的磁流变抛光、离子束抛光那些……唉~约等于让驾校教练的去教潜水,全是知识盲区,太难为人了。
所以,依旧只能想招给内陆提供成品,却没办法完善产业链上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意,问题是……想个什么招儿呢?
对于一台光刻机来说,技术难度最高的就是光学及相关部分。其它的……虽然“素材”还欠缺很多,但只搞出个唬人的大框,基本谈不上多大的难度。
只要让英国佬以为,我们在技术层面,甚至是实验室层面的完成度已经足够高了。除了欠缺几项关键技术和工艺,主要缺乏的不过是工业化和体系化生产的能力就行。
再加上领先的集成电路设计能力和通用型系统,砝码绝对够重。
综合起来看,曲卓要实现上面的意图……不难,却不能轻易的答应。
可开出什么样的条件,他还真没想好。
小来小去没意思。
要狠了,就算眼下上面没招,捏着鼻子答应了,过后保不齐就会想招找后账。
甭以为位子高的人,就一定大气。不过是更加懂得取舍和权衡罢了。
而曲卓的策略是,本职工作毫无二话,保质保量完成的同时,还会交出超出预期的答卷。
但工作范围之外的事,就得掂量掂量拿捏拿捏了。
不掂量不拿捏,就得让人逮着了往死里攥……
梅宣宁气呼呼的走了,曲卓乐呵呵的相送。
他知道梅老二回去后,肯定会把问题扔回给安全部门,让那帮人自己看着办。
这也是曲卓半步不退的原因。
毕竟今天谈的内容,跟曲卓是不相干的,跟梅宣宁也是不相干的。
如果是梅宣宁的事,态度自然就不一样了。能办的话,制造点难度就给办了。
因为,这位是真大腿,做人也比较讲究,多卖点人情没坏处。一旦后面哪天出了什么纰漏,能顶大用呢。
前提是,得让梅老二知道欠下人情份量有多重。
安全部门甩出来的这档烂事儿,就是个很好的,可以用作称量和比对的参照物……
只要有事忙,时间过得就飞快。
曲卓以记忆中gca的stepper为基础,参考佳能的ex3l和尼康的nsr-1010g在稳定性和经济性方面的部分技术,搞了台步进式光刻机的设计出来。
不知道多少次的修改和微调后,最终定稿。
随后,将加工流程拉展,由柜式立体布局变成线式布局。
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